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水中臭氧分析儀

更新時間：2022-05-31

簡要描述：

水中臭氧分析儀470是zuix進(jìn)的溶解臭氧測量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預(yù)備清潔"， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到 了wu與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測 量的需求

型號：470點擊量：934

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水中臭氧分析儀470是zuixian進(jìn)的溶解臭氧測量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預(yù)備清潔"， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到 了wu與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠(yuǎn)程報 告測量的濃度。

水中臭氧分析儀技術(shù)指標(biāo)

  • 測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù) 

  • 紫外光源 ：低壓汞燈 

  • 測量單位 ：ppmw, mg/L 

  • 量程 ：高達(dá)150 mg/L (150 ppmw) 

  • 精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為 

  • 準(zhǔn)） 

  • 水流量 ：高達(dá)150 SLPM 

  • 采樣端口 ：1", 3/4", 3/8" Flaretek 連接 

  • 最大壓強(qiáng) ：55 PSI 

  • 接觸材料 ：特氟龍, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容 

  • 外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆

  •  

  • 尺寸 ：5.69" 寬 x 6.8" 高 x 3.2" 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm) 

  • 維護(hù) ：紫外燈每24個月替換一次 無其他預(yù)定維護(hù) 

  • 電纜 ：特氟龍外層 

  • 電源 ：+15 VDC 

  • 認(rèn)證 ：CE 認(rèn)證 

  • 模擬輸出 ：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇 

  • 數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時選擇 

  • 遠(yuǎn)程校零 ：通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點校準(zhǔn)


產(chǎn)品特點

  • 現(xiàn)場檢測

  • 在線且全流量監(jiān)測

  • 直線通過的流型

  • 無移動部件

  • 無消耗品

  • 測量范圍最高達(dá)150 mg/L

  • 遠(yuǎn)程零點校準(zhǔn)

  • 高精度紫外吸收法

  • 雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)

  • 不需求日常維護(hù)

  • 半導(dǎo)體級別濕式材料

  • 緊湊的特氟龍外殼

  • 特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜

應(yīng)用

 

  • 液態(tài)溶解臭氧

  • 半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)

  • 超純水系統(tǒng)

  • 制藥業(yè)

  • 水處理

  • 其他工業(yè)過程


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