上海睿丹自動化儀表有限公司MFC維修校準服務(wù)可以修復半導體行業(yè)的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 對于Cl2和Br2 MFC，我們建議客戶更換新的，我們也可以提供1對1的交換服務(wù)。 品牌 型號 Brooks(Unit) GFC...
ALICAT 手持式大氣采樣流量校準儀66系列，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置大氣壓傳感器和外置溫度探頭對當前大氣壓和環(huán)境溫度進行精確瞬間測量，專門針對環(huán)保法規(guī)要求設(shè)計。ALICAT 66系列手持式大氣采樣流量校準儀，可現(xiàn)場顯示當前大氣壓、溫度、濕度、體積流量和質(zhì)量流量，主要用于大氣顆粒物校準儀采集器流量的定期校準，方便快捷。
ALICAT 便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計62Q系列，這款多功能62Q系列便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計可縮短檢定或驗證高壓（160-320 psia）條件下運行流量所需時間，還能夠瞬間提供多種氣體的實時讀數(shù)，從而縮短停機時間和過程中斷時間。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-便攜式-低壓損型62W/62AW系列采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，用于現(xiàn)場多種流量校準和檢測場合，超低壓損更加適用于要求苛刻的環(huán)保檢測行業(yè)。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-便攜式62/62A系列，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，更方便用于現(xiàn)場多種流量校準和檢測場合。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器01系列，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預(yù)熱時間的要求，01系列的預(yù)熱時間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%，可以滿足更多的客戶流量控制應(yīng)用場合。 材質(zhì)上，01系列采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強的抗振動性能。
ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計控制器21VS系列，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度。
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計的，如真空鍍膜和濺射過程等。
ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 PSI絕壓）的應(yīng)用環(huán)境進行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型21S系列，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
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